Система травления диэлектрических материалов на основе оксида кремния в микроволновой плазме установка микроволнового плазмохимического травления:
Система травления диэлектрических материалов на основе оксида кремния в микроволновой плазме установка микроволнового плазмохимического травления
ЕАЭС N RU Д-RU.РА06.В.37554/25
Зарегистрирована
28 июля 2025 г.
Срок действия
27 июля 2030 г.